[发明专利]涂布喷嘴、涂布方法以及内容积控制阀无效
| 申请号： | 201010249012.X | 申请日： | 2010-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN101992155A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 柴田隆一郎;铃木荣哲 | 申请（专利权）人： | 诺信公司 |
| 主分类号： | B05B1/16 | 分类号： | B05B1/16;B05B1/30;B05D1/26;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供形成有对基板的端面和基板的与端面相邻的面喷出液体的缝隙部的涂布喷嘴、涂布方法以及内容积控制阀。涂布喷嘴(10)具有：喷嘴主体(11)，具有接受从液体供给阀供给的液体的入口开口和喷出液体的出口开口；分配板(12)，与喷嘴主体相邻配置，具有对从出口开口喷出的液体进行分配的槽孔；隔片板(13)，与分配板相邻配置，设有与分配板的槽孔连通的切口部；遮蔽板(14)，与隔片板相邻配置，覆盖隔片板的切口部，在分配板和遮蔽板之间通过隔片板的切口部形成用于对基板的端面和基板的与端面相邻的面喷出液体的缝隙部。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 方法 以及 容积 控制 | ||
【主权项】：
一种涂布喷嘴，其特征在于，具有：喷嘴主体，具有接受从液体供给阀供给的液体的入口开口和喷出液体的出口开口；分配板，与所述喷嘴主体相邻配置，具有对从所述出口开口喷出的液体进行分配的槽孔；隔片板，与所述分配板相邻配置，设有与所述分配板的所述槽孔连通的切口部；以及遮蔽板，与所述隔片板相邻配置，覆盖所述隔片板的所述切口部；在所述分配板和所述遮蔽板之间通过所述隔片板的所述切口部形成用于对基板的端面及所述基板的与所述端面相邻的面喷出液体的缝隙部。
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