[发明专利]液晶显示设备及其制造方法

摘要

公开一种使用基于无定型氧化锌的半导体作为有源层的液晶显示设备及其制造方法，包括：在阵列基板上形成栅极电极和栅极线；在形成栅极电极和栅极线的阵列基板上形成栅极绝缘层；在形成栅极绝缘层的栅极电极上形成基于无定型氧化锌的半导体形成的有源层；在有源层上以类似“H”的形状形成遮掩除接触区域之外的有源层的蚀刻阻挡层；在有源层上形成与有源层的接触区域电连接的源极和漏极电极，并形成通过与栅极线相交来限定像素区域的数据线；在形成源极和漏极电极以及数据线的阵列基板上形成钝化层；通过移除钝化层的部分区域形成用于暴露部分漏极电极的接触孔；形成通过接触孔与漏极电极电连接的像素电极；以面对方式粘结阵列基板和滤色器基板。

主权项

一种制造液晶显示设备的方法，包括：在阵列基板上形成栅极电极和栅极线；在其上形成有所述栅极电极和所述栅极线的所述阵列基板上形成栅极绝缘层；在其上形成有所述栅极绝缘层的所述栅极电极上形成有源层，所述有源层由基于无定型氧化锌的半导体形成；在所述有源层上以类似“H”的形状形成蚀刻阻挡层，所示蚀刻阻挡层遮掩除了接触区域之外的所述有源层；在所述有源层上形成源极和漏极电极，所述源极和漏极电极与所述有源层的所述接触区域电连接，并形成数据线，该数据线通过与所述栅极线相交来限定像素区域；在其上形成有所述源极和漏极电极以及所述数据线的所述阵列基板上形成钝化层；通过移除所述钝化层的部分区域，形成用于暴露部分所述漏极电极的接触孔；形成像素电极，所述像素电极通过所述接触孔与所述漏极电极电连接；和以面对的方式粘结所述阵列基板和滤色器基板。