[发明专利]引线接合装置有效
申请号: | 201010252535.X | 申请日: | 2010-08-10 |
公开(公告)号: | CN101996903A | 公开(公告)日: | 2011-03-30 |
发明(设计)人: | 石井志信;吉野秀纪;木村荣二 | 申请(专利权)人: | 株式会社华祥 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 周建秋;王凤桐 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种引线接合装置,其在惰性气体氛围中形成FAB时,能够抑制FAB的氧化并实现FAB的稳定化,并且通过位置调整机构能够容易地设定毛细管和火花杆的放电间隙大小以及惰性气体氛围的空间的大小,包括:一对排气管(11、20),其开口部(13、21)隔着毛细管(3)的前端对置并具有能够使毛细管的前端穿过的切口部(13a、21a),该对排气管用于向切口部排出惰性气体;定位成能够在排气管内对从毛细管抽出的引线进行火花放电而形成球的火花杆(5);以及用于改变一对排气管的各个开口部之间的距离的位置调整单元,使一对排气管的开口部之间的空间的大小可变,从而使由惰性气体形成的惰性气体氛围的空间的大小可变。 | ||
搜索关键词: | 引线 接合 装置 | ||
【主权项】:
一种引线接合装置,其特征在于,该引线接合装置包括:毛细管,该毛细管的前端适于抽出引线;一对排气管,该对排气管的开口部隔着所述毛细管的所述前端对置,各个所述开口部具有所述毛细管的前端能够穿过的切口部,所述一对排气管用于向所述切口部排出惰性气体;火花杆,该火花杆定位成能够在所述排气管内对从所述毛细管抽出的引线进行火花放电而形成球;以及位置调整单元,该位置调整单元用于改变所述一对排气管的各个开口部之间的距离。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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