[发明专利]测量装置

摘要

一种具备对被测量物照射沿一个方向延伸的线状光的出射光学系统和获得线状反射光的摄像元件的测量装置，根据线状反射光在被测量物上的几何学位置关系来测量被测量物的表面形状，具备：成像光学系统，设置在被测量物与摄像元件之间，使线状反射光成像于摄像元件的受光面上以获得线状光在被测量物上的形状；光束分束机构，将线状反射光分束并导向摄像元件。光束分束机构将线状反射光分束以获得在线状光延伸方向上观察时线状光在彼此不同的位置上在被测量物上的形状。摄像元件在受光面上设定有被划分为多个区域的多个片段，各片段中的至少一个或更多的区域用作受光区域，成像光学系统使分束的线状反射光成像于受光面上彼此不同的片段的受光区域上。

主权项

一种测量装置，具备：出射光学系统，所述出射光学系统将在一个方向上延伸的线状光照射到被测量物上；摄像元件，所述摄像元件获得从所述被测量物反射的线状反射光，所述测量装置根据所述摄像元件获得的所述线状反射光在所述被测量物上的几何学位置关系来测量被测量物的表面形状，所述测量装置的特征在于，具备：成像光学系统，所述成像光学系统被设置在所述被测量物与所述摄像元件之间，使所述线状反射光成像于所述摄像元件的受光面上以获得所述线状光在所述被测量物上的形状；光束分束机构，所述光束分束机构将所述线状反射光分束并将分束的线状反射光导向所述摄像元件，其中，所述光束分束机构对所述线状反射光进行分束以获得在所述线状光的延伸方向上观察时在彼此不同测量位置上所述线状光在所述被测量物上的形状，所述摄像元件在受光面上设定有多个片段且所述多个片段的每个被划分为多个区域，所述多个片段中的至少一个或更多的区域用作受光区域，所述成像光学系统使所述光束分束机构分束的所述线状反射光成像于所述摄像元件的所述受光面上的彼此不同的所述片段的所述受光区域上。