[发明专利]一种基于激光干涉的球杆测量装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种基于激光干涉的球杆测量装置及其测量方法，这种基于激光干涉的球杆测量装置，包括一可水平旋转的旋转底盘，旋转底盘的上端通过殷钢杆固定有一光学精密球，光学精密球连接有球杆支撑架，球杆支撑架固定连接有光学盒子，光学盒子的外侧固定连接有一伸缩筒，伸缩筒的伸缩末端筒内设有一测量角锥棱镜，且伸缩筒的伸缩末端于测量角锥棱镜的后侧固定连接有精密标准球。本发明通过伸缩筒的配置增大了测量范围，为较大型具有运动坐标系统的机床的精度校验提供了有效的技术手段，另外本发明可以在短时间内求取多项误差的分量，节省时间，并且该装置结构简单、零件数目少、装配容易，操作简便。

主权项

一种基于激光干涉的球杆测量装置，包括一可水平旋转的旋转底盘，其特征在于：所述旋转底盘的上端通过殷钢杆（4）固定有一光学精密球（6），所述光学精密球（6）连接有球杆支撑架（14），所述球杆支撑架（14）固定连接有光学盒子（11），所述光学盒子（11）的外侧固定连接有一伸缩筒，所述伸缩筒的伸缩末端筒内设有一测量角锥棱镜（18），且伸缩筒的伸缩末端于测量角锥棱镜（18）的后侧固定连接有精密标准球（10）；所述光学盒子（11）呈矩形盒体，在盒体内设置有扩束系统（16）、干涉分光镜（17）和参考角锥棱镜（19），所述盒体上还设有输入光纤（12）和输出光纤（13）；所述输入光纤（12）引入一细光束作为输入光束（15），所述输入光束（15）射出盒体并被所述光学精密球（6）反射后重新进入盒体；所述光学精密球（6）通过一水平的转轴（5）与球杆支撑架（14）连接，转轴（5）通过光学精密球6的球心且保证光学精密球（6）在转轴（5）的中心，所述球杆支撑架（14）能够绕转轴（5）于垂直向转动。