[发明专利]可调光学元件的径向调节装置有效
申请号: | 201010256222.1 | 申请日: | 2010-08-18 |
公开(公告)号: | CN102375200A | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 崔建波;王洪尊;谭长永 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明的可调光学元件的径向调节装置包括一可调镜组、至少一径向调节机构、一固定镜座、至少一电机组件、一弹性柱塞和一轴向支撑机构;所述可调镜组通过所述轴向支撑机构设置在所述固定镜座内,所述轴向支撑机构用于支撑所述可调镜组并保证所述可调镜组轴向位移不变;所述弹性柱塞固定设置在所述固定镜座内,该弹性柱塞的一端与所述可调镜组弹性连接;所述径向调节机构设置在所述固定镜座内,该径向调节机构与所述可调镜组径向移动连接;所述电机组件与所述径向调节机构连接;所述电机组件驱动所述径向调节机构运动,从而带动所述可调镜组径向移动,所述弹性柱塞用于保持所述可调镜组在径向上的平衡。 | ||
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【主权项】:
一种可调光学元件的径向调节装置,其特征在于,包括一可调镜组、至少一径向调节机构、一固定镜座、至少一电机组件、一弹性柱塞和一轴向支撑机构;所述轴向支撑机构,用于支撑所述可调镜组并保证所述可调镜组轴向位移不变;所述可调镜组,通过所述轴向支撑机构设置在所述固定镜座内;所述弹性柱塞固定设置在所述固定镜座内,该弹性柱塞的一端与所述可调镜组弹性连接;所述径向调节机构设置在所述固定镜座内,该径向调节机构与所述可调镜组径向移动连接;所述电机组件与所述径向调节机构连接,所述电机组件驱动所述径向调节机构运动,从而带动所述可调镜组径向移动,所述弹性柱塞用于保持所述可调镜组在径向上的平衡。
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