[发明专利]一种对硅片切削废液的回收方法无效
| 申请号： | 201010257078.3 | 申请日： | 2010-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN101905938A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 黄立军 | 申请（专利权）人： | 黄立军 |
| 主分类号： | C02F9/08 | 分类号： | C02F9/08 |
| 代理公司： | 潍坊正信专利事务所 37216 | 代理人： | 赵玉峰 |
| 地址： | 262500 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对硅片切削废液的回收方法，包括以下步骤：(1)对硅片切削废液进行固液分离，在分离后的液相中，首先加入酸反应后，加入氨水调节pH值至7～8，加入活性炭脱色，然后经过滤除杂，滤液进行减压蒸馏，得到聚乙二醇。(2)对所述切削废液固液分离所得的固相先进行6～9次水洗，所得水洗液首先调节pH值至4～6后过滤，过滤所得固体物料经减压干燥得到硅粉。(3)对步骤(2)中水洗后的固相分别经碱洗和酸洗，所述碱洗在温度为70～80℃时进行，然后经过滤烘干，得到碳化硅微粉。(4)将步骤(2)所得滤液和步骤(3)中所得的洗液和滤液混合后，调节pH值至4～6后过滤，所得滤液作为生产用水循环利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切削 废液 回收 方法 | ||
【主权项】：
一种对硅片切削废液的回收方法，其特征在于包括以下步骤：(1)对硅片切削废液进行固液分离，在分离后的液相中，首先加入酸反应后，加入氨水调节PH值至7～8，加入活性碳脱色，然后经过滤除杂，滤液进行减压蒸馏，得到聚乙二醇；(2)对所述切削废液固液分离所得的固相先进行6～9次水洗，所得水洗液首先调节PH值至4～6后过滤，过滤所得固体物料经减压干燥得到硅粉；(3)对步骤(2)中水洗后的固相分别经碱洗和酸洗，所述碱洗在温度为70～80℃时进行，然后经过滤烘干，得到碳化硅微粉；(4)将步骤(2)所得滤液和步骤(3)中所得的洗液和滤液混合后，调节PH值至4～6后过滤，所得滤液作为生产用水循环利用。
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