[发明专利]太阳能电池晶圆盒输送装置及其太阳能电池晶圆纹理装置

摘要

本发明公开一种用于太阳能电池晶圆的盒输送装置及利用此盒输送装置的太阳能电池的晶圆纹理装置。依据本发明的一实施例，用以供应及收回已接收太阳能电池晶圆的盒至一纹理装置以及自纹理装置供应及收回此盒的此输送装置可包含：一装填机，用以移动该盒至一晶圆接收位置，以及移动及供应该盒至该纹理装置；一卸载机，当晶圆在纹理装置纹理完成后，移动该盒至一晶圆分离位置，且将晶圆分离的盒移动至一盒送回位置；以及一送回机，用以将卸载机供应的盒送回至装填机。利用根据本发明的太阳能电池的盒输送装置，作业变的更简单且所需人力更少，且在输送期间可预防晶圆的损坏及制程缺陷发生。

主权项

一种输送装置，用以供应及收回一盒至一纹理装置以及自该纹理装置供应及收回该盒，一太阳能电池晶圆已接收于该盒内，其特征在于：该装置包含：一装填机，用以移动所述盒至一晶圆接收位置，以及移动及供应所述盒至所述纹理装置；一卸载机，当所述晶圆在所述纹理装置纹理完成后，移动所述盒至一晶圆分离位置，且将晶圆分离的所述盒移动至一盒送回位置；以及一送回机，用以将所述卸载机供应的所述盒送回至所述装填机。