[发明专利]压电元件及其制造方法、压电致动器、液体喷射头及装置无效
| 申请号： | 201010260161.6 | 申请日： | 2010-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN101997080A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 中山雅夫 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/22;B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 陈海红;周春燕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供可靠性高的压电元件及其制造方法、压电致动器、液体喷射头及装置。本发明的压电元件(100)包括基板(10)、设置在基板(10)的上方的第1导电层(20)、覆盖第1导电层(20)的上方及侧方的压电体层(30)、设置在压电体层(30)的顶面(32)且沿顶面(32)的边缘而设置的缓冲层(40)和至少覆盖缓冲层(40)及压电体层(30)的第2导电层(50)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 及其 制造 方法 致动器 液体 喷射 装置 | ||
【主权项】：
一种压电元件，包括：基板；设置在所述基板的上方的第1导电层；覆盖所述第1导电层的上方及侧方的压电体层；缓冲层，其设置在所述压电体层的上方，沿该压电体层的顶面的边缘而设置；以及至少覆盖所述缓冲层及所述压电体层的第2导电层。
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