[发明专利]光伏多晶硅铸锭炉保温罩多轴同步提升装置无效
申请号: | 201010260278.4 | 申请日: | 2010-08-23 |
公开(公告)号: | CN101949055A | 公开(公告)日: | 2011-01-19 |
发明(设计)人: | 于庆广;翟志华;冯龑 | 申请(专利权)人: | 清华大学;江西旭阳雷迪高科技股份有限公司;江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 廖元秋 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及光伏多晶硅铸锭炉保温罩多轴同步提升装置,属于光伏多晶硅铸锭炉的保温罩自动化控制技术领域,该装置包括一台多轴运动控制器、三个伺服驱动器、三个伺服电机及其传动机构,三套提升机构;该多轴运动控制器通过运动控制总线分别与三个伺服驱动器相连,每个伺服驱动器的输出端与一个伺服电机的输入端相连,每个伺服电机的输出端通过其传动机构与每套提升机构相连,所述三套提升机构分别安装在光伏多晶硅铸锭炉顶并与保温罩相固接。本发明控制精度高,可以单轴运行,调试整定方便,提高了生产效率,提高了多晶硅铸锭质量。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 保温 罩多轴 同步 提升 装置 | ||
【主权项】:
一种光伏多晶硅铸锭炉保温罩多轴同步提升装置,其特征在于,该装置包括一台多轴运动控制器、三个伺服驱动器、三个伺服电机及其传动机构,三套提升机构;该多轴运动控制器通过运动控制总线分别与三个伺服驱动器相连,每个伺服驱动器的输出端与一个伺服电机的输入端相连,每个伺服电机的输出端通过其传动机构与每套提升机构相连,所述三套提升机构分别安装在光伏多晶硅铸锭炉顶并与保温罩相固接。
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