[发明专利]碳纳米管/聚合物复合膜阵列式柔性力敏传感器及制法有效
申请号: | 201010260505.3 | 申请日: | 2010-08-23 |
公开(公告)号: | CN102374910A | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 叶雄英;王志峰;杨继敏;楼思远;谢续明 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18;B81C1/00 |
代理公司: | 北京法思腾知识产权代理有限公司 11318 | 代理人: | 杨小蓉;高宇 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及的碳纳米管/聚合物复合膜阵列式柔性力敏传感器及制法,其包括:分别图形化于碳纳米管/聚合物复合膜上、下表面的平行金属行电极和平行金属列电极;行电极上附着上绝缘保护层;列电极上附着下绝缘保护层;行电极与平行列电极呈空间相交状分布,其空间相交部分与该相交部分内包含的碳纳米管/聚合物膜构成阵列式柔性力敏传感器的力敏单元;碳纳米管/聚合物复合薄膜为聚合物基体材料中均匀分散有碳纳米管的复合材料制成的膜;所述碳纳米管与所述聚合物基体材料的质量比为(0.1-15)∶100;该阵列式柔性力敏传感器中的碳纳米管/聚合物复合膜具有柔韧性优良、重复性好,性能稳定,一致性好等特点。 | ||
搜索关键词: | 纳米 聚合物 复合 阵列 柔性 传感器 制法 | ||
【主权项】:
一种碳纳米管/聚合物复合膜阵列式柔性力敏传感器,其包括:一碳纳米管/聚合物复合膜(3);一图形化于所述碳纳米管/聚合物复合膜(3)上表面上的平行金属行电极(2);一图形化于所述碳纳米管/聚合物复合膜(3)下表面上的平行金属列电极(4);一附着于所述平行金属行电极(2)上表面上的上绝缘保护层(1);和一附着于所述平行金属列电极(4)下表面上的下绝缘保护层(5);所述平行金属行电极(2)与所述平行金属列电极(4)呈空间相交状分布,其空间相交的相交部分与该相交部分内包含的碳纳米管/聚合物膜构成阵列式柔性力敏传感器的力敏单元;其特征在于:所述的碳纳米管/聚合物复合薄膜(3)为聚合物基体材料中均匀分散有碳纳米管的复合材料制成的膜;所述碳纳米管与所述聚合物基体材料的质量比为(0.1‑15)∶100;所述聚合物基体材料为二甲基硅氧烷或苯乙烯‑丁二烯‑苯乙烯嵌段共聚物。
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