[发明专利]薄膜沉积设备和制造有机发光显示装置的方法

摘要

本发明提供一种薄膜沉积设备和制造有机发光显示装置的方法。提供了一种可以应用于大规模制造大尺寸显示装置并改善了生产率的薄膜沉积设备和通过利用该薄膜沉积设备来制造有机发光显示装置的方法。所述方法包括如下步骤：将基底布置为与薄膜沉积设备分开预定距离；在薄膜沉积设备或基底相对于彼此移动的同时将从薄膜沉积设备排放的沉积材料沉积在基底上。

主权项

一种薄膜沉积设备，用于在基底上形成薄膜，所述设备包括：沉积源，排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧处，并包括沿第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，设置为与沉积源相对，并包括沿第一方向布置的多个图案化缝隙；障碍板组件，沿第一方向设置在沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间，并包括将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间划分为多个子沉积空间的多个障碍板，其中，与每个子沉积空间对应的图案化缝隙的长度彼此不同，薄膜沉积设备与基底分开预定距离，薄膜沉积设备和基底能够相对于彼此移动。