[发明专利]电子束流品质测试的高速偏摆扫描控制装置有效
申请号: | 201010263824.X | 申请日: | 2010-08-27 |
公开(公告)号: | CN101966620A | 公开(公告)日: | 2011-02-09 |
发明(设计)人: | 王克鸿;彭勇;周琦;王亚军;冯曰海;左从进;毛智勇;付鹏飞;郭光耀;顾民乐 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | B23K15/00 | 分类号: | B23K15/00;G01B7/12;G01R21/00 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 唐代盛 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种电子束流品质测试的高速偏摆扫描控制装置,复杂可编程逻辑器件分别与串口通信等电路连接,串口通信电路与工控机连接,两路同步波形发生电路由数模转换电路、低通滤波电路、光电隔离电路和功率放大电路组成,两路功率放大电路与电磁偏转线圈连接;时钟电路经过复杂可编程逻辑器件分频,产生多种频率的时钟分别用于串口通信、采集卡控制和频率可变的波形发生;工控机经过串口通信电路控制复杂可编程逻辑器件,在时钟电路的触发下,复杂可编程逻辑器件产生两路波形的数字量,放大后的信号驱动电磁偏转线圈产生磁场使电子束偏转扫描。本发明使电子束偏摆扫描的控制精度高,而且数字电路可以极大的提高装置的抗干扰能力。 | ||
搜索关键词: | 电子束 品质 测试 高速 扫描 控制 装置 | ||
【主权项】:
一种电子束流品质测试的高速偏摆扫描控制装置,其特征在于:由复杂可编程逻辑器件、串口通信电路、时钟电路、复位电路、电源电路、数模转换电路、低通滤波电路、光电隔离电路和功率放大电路构成,复杂可编程逻辑器件分别与串口通信电路、时钟电路、复位电路、电源电路、两路波形发生电路连接,串口通信电路与工控机连接,两路同步波形发生电路由数模转换电路、低通滤波电路、光电隔离电路和功率放大电路组成,两路功率放大电路与电磁偏转线圈连接;时钟电路经过复杂可编程逻辑器件分频,产生多种频率的时钟分别用于串口通信、采集卡控制和频率可变的波形发生;工控机经过串口通信电路控制复杂可编程逻辑器件,在时钟电路的触发下,复杂可编程逻辑器件产生两路波形的数字量,经过数模转换电路输出模拟波形,低通滤波电路滤除模拟波形中的高次谐波,滤波后的信号经过光电隔离电路输入功率放大器,放大后的信号驱动电磁偏转线圈产生磁场使电子束偏转扫描。
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