[发明专利]基于PDMS薄膜结构的MEMS宽频压电能量采集器有效
| 申请号： | 201010263850.2 | 申请日： | 2010-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN101908837A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;马华安;唐刚;李以贵;杨春生 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H02N2/18 | 分类号： | H02N2/18 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微机电技术领域的基于PDMS薄膜结构的MEMS宽频压电能量采集器，包括：圆形框架和设于圆形框架内的PDMS膜、若干压电悬臂梁和质量块，其中：若干压电悬臂梁径向内嵌于PDMS薄膜内且一端固定在圆形框架上另一端悬空，质量块内嵌于PDMS薄膜内且位于圆形框架的中心。本发明使压电换能元件在低频振动环境下获得较大的输出功率，以解决传统的MEMS压电能量采集器工作频带窄的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 pdms 薄膜 结构 mems 宽频 压电 能量 采集 | ||
【主权项】：
一种基于PDMS薄膜结构的MEMS宽频压电能量采集器，包括：圆形框架和设于圆形框架内的PDMS膜、若干压电悬臂梁和质量块，其特征在于：若干压电悬臂梁径向内嵌于PDMS薄膜内且一端固定在圆形框架上另一端悬空，质量块内嵌于PDMS薄膜内且位于圆形框架的中心。
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