[发明专利]静电MEMS微执行器联合装置及其加工方法无效
| 申请号： | 201010264121.9 | 申请日： | 2010-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN101905852A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;白万青;陈少军;孙健 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种微机电系统技术领域的用于测量碳纳米管压阻特性的静电MEMS微执行器联合装置及其加工方法，包括：静电叉指微驱动器和放置碳纳米管的微型容器，其中：微型容器位于静电叉指微驱动器的下方且与静电叉指微驱动器的一端相连接，静电叉指微驱动器具体为纵向叉指静电驱动器，包括：固定电极、可动电极和通电区，其中：固定电极固定于硅片上，可动电极通过固定锚悬浮于硅片上，通电区分别设置于固定电极和可动电极上。本发明由静电梳状驱动器的可动电极发生纵向移动直接导致的，测量所得更加准确。而且基于硅工艺的加工方法，更加简单易行。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 mems 执行 联合 装置 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种静电MEMS微执行器联合装置，包括：静电叉指微驱动器和放置碳纳米管的微型容器，其中：微型容器位于静电叉指微驱动器的下方，其特征在于：所述的静电叉指微驱动器具体为纵向叉指静电驱动器，包括：硅片、固定电极、可动电极和通电孔，其中：固定电极固定于硅片上，可动电极通过两端的固定锚悬浮在硅片上，固定电极和可动电极上均设有通电孔以施加电压；所述的可动电极为包含若干突出结构的梳齿形电极。
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