[发明专利]一种化学机械抛光液无效
| 申请号： | 201010264137.X | 申请日： | 2010-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN102373013A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 徐春 | 申请（专利权）人： | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C23F3/04;B24B29/00 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光液，其含有研磨颗粒，氧化剂，抛光速率提升剂，稳定剂和载体。本发明的化学机械抛光液可以通过抛光体系的作用提高金属速率，提高抛光液稳定时间，减少对抛光垫，抛光机台的污染，同时控制金属的材料的局部和整体腐蚀，减少衬底表面污染物，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光液，含有研磨颗粒，氧化剂，抛光速率提升剂，稳定剂和载体。
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