[发明专利]容性传感器和执行器无效
| 申请号： | 201010264988.4 | 申请日： | 2010-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN102003972A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | A·弗兰克;A·布曼;M·凯克 | 申请（专利权）人： | 罗伯特.博世有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24;G01P15/125;G01B7/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李永波;梁冰 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及容性传感器和执行器，其具有至少一个可偏移地固定在基底上的振荡质量。在此，如此在该振荡质量上固定了带有梳齿(2)的梳状电极(1)并且在该基底上固定了带有梳齿(2′)的梳状电极(1′)，以使得梳齿(2)和(2′)被布置成平行于该振荡质量的偏移方向(3)并且梳状地啮入彼此之中。通过优化至少一个梳状电极(1，1′)的几何形状尤其至少一个梳齿(2，2′)的几何形状来调节传感器的特征曲线或执行器的特征曲线。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 执行 | ||
【主权项】：
一种容性传感器，其具有至少一个可偏移地固定在基底上的振荡质量，其中在所述振荡质量上固定了带有梳齿(2)的梳状电极(1)并且在所述基底上固定了带有梳齿(2′)的梳状电极(1′)，所述梳齿(2，2′)被布置成平行于所述振荡质量的偏移方向(3)并且梳状地啮入彼此之中，其特征在于，通过优化至少一个梳状电极(1，1′)的几何形状尤其至少一个梳齿(2，2′)的几何形状来调节所述传感器的特征曲线。
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