[发明专利]基于金属纳米颗粒的光子晶体微纳结构直写方法有效
| 申请号： | 201010265523.0 | 申请日： | 2010-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN101975976A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 张新平;庞兆广;刘红梅 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 沈波 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于金属纳米颗粒的光子晶体微纳结构直写方法，属于纳米光电子材料及器件技术领域。本发明利用化学合成金纳米颗粒胶体，通过紫外脉冲激光干涉灼蚀技术，结合热处理工艺，实现了一种新的一维或者二维金属光子晶体的制备技术。本发明方法具有成本低、效率高，可制备大面积金属光子晶体等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 金属 纳米 颗粒 光子 晶体 结构 方法 | ||
【主权项】：
基于金属纳米颗粒的光子晶体微纳结构直写技术，其特征在于，包括以下步骤：1)将平均直径约5nm的金属纳米颗粒溶解于有机溶剂中，制成70‑100mg/ml的金属纳米颗粒溶胶；2)以1500‑4000rpm的转速，将胶体溶液旋涂在基底上，制备出厚度为50‑250nm的金属纳米颗粒胶体薄膜；3)将紫外激光干涉图案与金属纳米颗粒胶体薄膜作用，使得干涉亮条纹区的金属纳米颗粒在瞬间被灼蚀掉，而未曝光区的金属纳米颗粒被保留；4)将具有光栅结构的金属纳米颗粒基片置于加热板上，加热温度为250℃，时间为25s，形成连续性的高质量金属薄膜光栅结构样品。
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