[发明专利]一种金刚石表面化学机械复合加工方法与装置

摘要

本发明涉及一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光方法，采用复合材料作为研磨、抛光的工具磨盘，将其加热至适当的温度，然后作高速旋转运动；以一定压力将待加工金刚石膜/块压向磨盘表面，使其与磨盘表面发生高速摩擦，通过摩擦区的化学-机械复合循环作用，实现金刚石表面的高效研磨与抛光。该方法为化学-机械复合方式，研磨过程包括催化表层石墨化过程，机械刮除石墨层过程。在化学作用与机械作用的复合循环过程中，实现高效去除金刚石表面材料。所涉及的装置，集成了加热、加载功能，使用复合磨盘作为工具盘，其有益效果在于加工效率高，机械作用力小，加工质量好。本发明还涉及一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光装置。

主权项

一种金刚石表面化学机械复合研磨抛光方法，包括以下过程：(1)、将待加工金刚石膜/金刚石块压向磨盘表面；(2)、将磨盘加热；(3)、使待加工金刚石膜/金刚石块压表面发生高速摩擦，通过摩擦区的化学‑机械复合循环作用，实现金刚石膜/金刚石块表面的高效研磨与抛光；其特征在于：上述磨盘是由碳化钨铜或碳化硅铜复合材料制成，其中作为硬质材料的碳化钨或碳化硅粉末颗粒大小为2至10微米，铜的质量百分含量为磨盘材料的20％至30％，上述磨盘工作表面光洁度小于0.8微米；上述第(2)步中磨盘加热温度在200‑300摄氏度。