[发明专利]一种基于柔性支撑技术的电磁式微力试验机的检验方法

摘要

一种基于柔性支撑技术的电磁式微力试验机的检验方法，该方法用于检测所述电磁式微力试验机的准静态性能，该方法包括：对所述试验机位移灵敏度及其线性度、位移的量程、分辨力、噪声水平的检测；对所述试验机载荷灵敏度及其线性度、载荷的热稳定性、量程、分辨力、噪声水平；对所述试验机的磁缸的磁场非均匀性；对所述试验机的机架刚度和支撑弹簧垂直刚度及其线性度等性能的检测；确定各项性能检验顺序为：位移检验→载荷检验→支撑弹簧垂直刚度检验；考虑所述试验机的几个自身因素在检验过程中带来的影响，并通过合理手段排除影响，以及通过自我修正来提高检验的准确度。

主权项

一种基于柔性支撑技术的电磁式微力试验机的检验方法，其特征为：该方法用于检测基于柔性支撑技术的电磁式微力试验机的准静态性能，该方法包括：对所述试验机的位移灵敏度及其线性度、位移的量程、分辨力、噪声水平的检测；对所述试验机的载荷灵敏度及其线性度、载荷的热稳定性、载荷的量程、分辨力、噪声水平；对所述试验机的磁缸的磁场非均匀性；对所述试验机的机架刚度和支撑弹簧垂直刚度及其线性度等性能的检测；所述检验方法中对所述试验机的各项性能检验顺序为：位移检验→载荷检验→支撑弹簧垂直刚度检验；由于磁缸的磁场存在非均匀性，在检验载荷灵敏度过程中每个检验点处应保持线圈与磁缸的相对位置不变；由于试验机工作时存在一定的磁滞，在检验过程中需进行拉压双向检验；由于检验所用的高精度载荷传感器存在一定柔度，当所述试验机施加载荷较大时，线圈与磁缸的相对位置会发生微小变化，导致所述试验机输出载荷的测量不准，因此需要通过修正测量到的载荷来修正载荷灵敏度和支撑弹簧垂直刚度。