[发明专利]一种有机退膜剂

摘要

一种有机退膜剂，其特征在于由下述重量百分比的组分组成：有机碱20-50％；氯盐0.1-1.0％；山梨醇1.0-5.0％；铜缓蚀剂0.1-1.0％；去离子水45-74％。本发明的有机退膜剂适合用于碱性液显影的负性干膜，干膜的主要成分为带羧基的聚合物。本发明的有机退膜剂中，有机碱能够与干膜中带羧基的聚合物反应，使大块的干膜碎裂成小块；氯盐能促使干膜与铜镀层之间的界面快速分离；山梨醇使有机退膜剂能快速到达干膜内部；有机碱、氯盐和山梨醇三者配合，使得本发明的有机退膜剂具有从铜基材上快速剥离“夹膜”状干膜的优良性能，退膜效率高，退膜效果好。本发明的有机退膜剂毒性低，使用安全，而且废液容易处理。

主权项

一种有机退膜剂，其特征在于由下述重量百分比的组分组成：有机碱20‑50％；氯盐0.1‑1.0％；山梨醇1.0‑5.0％；铜缓蚀剂0.1‑1.0％；去离子水45‑74％。