[发明专利]一种去除LED芯片电极的方法有效
申请号: | 201010271484.5 | 申请日: | 2010-09-03 |
公开(公告)号: | CN101944562A | 公开(公告)日: | 2011-01-12 |
发明(设计)人: | 谈健;许亚兵;林振贤;何大庆 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明 |
地址: | 410007 *** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供了一种去除LED芯片电极的方法,包括如下步骤:去除覆盖在LED芯片电极边缘的保护层;去除保护层后,在铬蚀刻液中浸泡芯片;将浸泡好的芯片取出,清洗并吹干;将蓝膜或白膜贴在吹干后的芯片表面上后,将蓝膜或白膜撕开。本发明提供的方法具备很高的选择性,对于LED芯片结构的其他部分没有影响,并且保留了原始的ITO层。 | ||
搜索关键词: | 一种 去除 led 芯片 电极 方法 | ||
【主权项】:
一种去除LED芯片电极的方法,其特征在于,所述方法包括如下步骤:去除覆盖在所述芯片电极边缘的保护层;去除所述保护层后,在铬蚀刻液中浸泡所述芯片;将所述芯片取出,清洗并吹干;将蓝膜或白膜贴在吹干后的芯片表面上;揭撕所述蓝膜或白膜;其中,所述铬蚀刻液是硝酸铈铵、稀硝酸和水的混合溶液。
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