[发明专利]一种光学表面亚表层损伤测量装置和测量方法

摘要

本发明涉及一种光学表面亚表层损伤测量装置和测量方法。现有的大型光学系统或超精密元件表面加工中，光学表面亚表层损伤的测量对元器件表面是破坏性的，且局限性极大。本发明包括激光光源，准直扩束镜和分光镜，准直扩束镜中设置有发射端滤波针孔；在分光镜的透射侧光路上设置有接收端聚光镜和针孔光电探测器，在分光镜的反射侧光路上设置有X、Y二维电控平面扫描振镜、测量显微物镜和Z向压电微位移扫描平台；针孔光电探测器通过信号处理及传输模块、表面反射光计算处理模块与控制显示模块连接，Z向压电微位移扫描平台也与控制显示模块连接。本发明能实现非破坏、定量测量，纵向测量范围更大，且适应性强，不受加工工艺的制约。

主权项

一种光学表面亚表层损伤测量装置，其特征在于：包括激光光源（1），依次放在激光光源（1）发射端的准直扩束镜（2）和分光比为1:1的分光镜（3），准直扩束镜（2）中设置有发射端滤波针孔（11）；在分光镜（3）的透射侧光路上设置有接收端聚光镜（10）和针孔光电探测器（9），在分光镜（3）的反射侧光路上设置有X、Y二维电控平面扫描振镜（4）、测量显微物镜（5）和Z向压电微位移扫描平台（6）；所述针孔光电探测器（9）通过信号初级处理及传输模块（8）、表面反射光计算处理模块（7）与控制显示模块（12）连接，Z向压电微位移扫描平台（6）也与控制显示模块（12）连接。