[发明专利]基于四极杆质谱的稀有气体测定系统有效

专利信息
申请号: 201010272543.0 申请日: 2010-09-01
公开(公告)号: CN101963596A 公开(公告)日: 2011-02-02
发明(设计)人: 龚革联;周继彬;孙卫东;张晓东;张红;刘顺生 申请(专利权)人: 中国科学院广州地球化学研究所
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62
代理公司: 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 代理人: 余炳和
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本产品发明公开一种基于四极杆质谱的稀有气体测定系统。该系统的激光样品室经阀B与第一四通管的第一端口相连,第一四通管的第二端口经阀D与第一杂质吸收器相连、第三端口经阀G与第一三通管的第一端口相连,第四端口顺序连分子真空泵和机械泵,在分子真空泵和第一四通管的第四端口之间安有真空计,在阀G与第一四通管的第三端口之间连有稀有气体标准罐,第一三通管的第二端口经阀J与离子泵相连,第三端口顺序连接第二杂质吸收器和四极杆质谱,上述构件与连接管道之间的连接方式均采用金属接口相连,在构件之间的连接管道外表面装有电加热带。本产品发明能在确保相同精度和准确度的前提下,实现稀有气体质谱分析,具有成本低、性价比高的优点。
搜索关键词: 基于 四极杆质谱 稀有气体 测定 系统
【主权项】:
一种基于四极杆质谱的稀有气体测定系统,其特征在于:包括构件:激光样品室(12)、分子真空泵(8)、机械泵(9)、真空计(7)、第一杂质吸收器(6)、第二杂质吸收器(2)、稀有气体标准罐、离子泵(1)、四极杆质谱(3)、第一四通管(31)和第一三通管(21),通过连接管道:所述的激光样品室(12)经阀B与第一四通管(31)的第~端口相连,第一四通管(31)的第二端口经阀D与第一杂质吸收器(6)相连、第三端口经阀G与第一三通管(21)的第一端口相连,第四端口顺序连有分子真空泵(8)和机械泵(9),在分子真空泵(8)和第一四通管(31)的第四端口连接管道之间安有真空计(7),在阀G与第一四通管(31)的第三端口之间的连接管道上连有稀有气体标准罐,第一三通管(21)的第二端口经阀J与离子泵(1)相连,第三端口顺序连接第二杂质吸收器(2)和四极杆质谱(3),上述构件与构件之间的连接管道外表面均装有电加热带,上述构件与连接管道之间的连接方式均采用金属接口相连。
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