[发明专利]一种基于移动比较的双频激光干涉仪信号高倍频细分系统

摘要

本发明公开了一种基于移动比较的双频激光干涉仪信号高倍频细分系统，包括参考信号预处理电路1、测量信号预处理电路2、鉴相器3、锯齿波发生器4、双移动窗比较组5及运算处理电路6。其中参考信号预处理电路1和测量信号预处理电路2的信号输出端分别与鉴相器3的信号输入端连接，鉴相器3、锯齿波发生器4、双移动窗比较组5和运算处理电路6依次连接。本发明采用双移动窗比较组实现高倍频细分的整数和小数信号的产生，然后通过运算电路进行数据处理，可以准确的高分辨的测出双频激光干涉仪信号的周期和相位信息，极大的提高双频激光干涉仪测量系统的测量精度。

主权项

一种基于移动比较的双频激光干涉仪信号高倍频细分系统，其特征在于：包括参考信号预处理电路(1)、测量信号预处理电路(2)、鉴相器(3)、锯齿波发生器(4)、双移动窗比较组(5)及运算处理电路(6)；所述测量信号预处理电路(2)和参考信号预处理电路(1)分别完成测量信号与参考信号的光电检测、放大、滤波与整形后，分别输出为两路方波数字信号并送入鉴相器(3)进行鉴相；所述鉴相器(3)输出为占宽比随相位变化的数字脉冲信号，该占宽比随相位变化的数字脉冲信号控制所述锯齿波发生器(4)产生幅值随占宽比周期变化的锯齿波，该锯齿波进入所述双移动窗比较组(5)产生高倍频细分的整数脉冲和小数并行数据后，送入所述运算处理电路(6)进行计算处理，所述运算处理电路(6)得出最终细分结果并由总线方式输出。