[发明专利]基于白光相移干涉术的微结构形貌测试系统及测试方法无效
| 申请号： | 201010274210.1 | 申请日： | 2010-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN101949692A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 郭彤;马龙;陈津平;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/245 | 分类号： | G01B11/245 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 杜文茹 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种基于白光相移干涉术的微结构形貌测试系统及测试方法，系统有依次设置的数字CCD摄像机、显微光学系统、压电陶瓷驱动器、干涉物镜以及与压电陶瓷驱动器相连的压电陶瓷控制器，还有提供光源的白光光源和PC机，PC机通过图像采集卡与数字CCD摄像机连接，PC机通过图像采集卡还连接压电陶瓷控制器，干涉物镜的输入端对应于设置在隔振平台上的被测样品。方法是通过移相器带动干涉物镜对被测物体进行垂直扫描并记录采集的图像；通过重心法确定其重心；通过计算零级条纹上一位置处的相位信息，求得此位置与零级条纹位置的偏差；通过综合干涉信号的强度信息与相位信息以确定零级干涉条纹的位置。本发明测量效率高，扩展了测量范围，并提高了测量分辨力。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 白光 相移 干涉 微结构 形貌 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于白光相移干涉术的微结构形貌测试系统，包括有依次设置的数字CCD摄像机(4)、显微光学系统(5)、压电陶瓷驱动器(6)、干涉物镜(7)以及与压电陶瓷驱动器(6)相连的压电陶瓷控制器(10)，其特征在于，还设置有向显微光学系统(5)提供光源的白光光源(3)和PC机(1)，所述的PC机(1)通过图像采集卡(2)与数字CCD摄像机(4)连接，所述的PC机(1)通过图像采集卡(2)还连接压电陶瓷控制器(10)，所述的干涉物镜(7)的输入端对应于设置在隔振平台(9)上的被测样品(8)。
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