[发明专利]一种原位制备太阳能电池的方法

摘要

本发明公开了一种原位制备太阳能电池的方法，属于太阳能电池制造技术领域。所述制备方法包括：对硅片进行预处理；将经预处理后的硅片放置于等离子体浸没离子注入机的注入腔室内，利用等离子体浸没离子注入工艺，完成黑硅的制备，在所述黑硅上制作PN结和形成钝化层；将已完成PN结制作和钝化层形成的黑硅从等离子体浸没离子注入机取出，在黑硅的背面制备金属背电极，在钝化层上制备金属栅极，经封装后制成太阳能电池。本发明原位制备太阳能电池的方法能够在原位实现黑硅制备、PN结制作和钝化层成形，从而大大减少了制备太阳能电池所需的设备，大幅降低了太阳能电池的制作成本，并且工艺过程简单，易于控制。

主权项

一种原位制备太阳能电池的方法，其特征在于，所述方法包括：(a)对硅片进行预处理；(b)将经预处理后的所述硅片放置于等离子体浸没离子注入机的注入腔室内，利用等离子体浸没离子注入工艺，完成黑硅的制备，在所述黑硅上制作PN结以及形成钝化层；(c)将所述已完成PN结制作和钝化层形成的黑硅从所述等离子体浸没离子注入机取出，在所述黑硅的背面制备金属背电极，在所述钝化层上制备金属栅极，经封装后形成太阳能电池。