[发明专利]提高钨酸铵储备溶液稳定性的方法及碱性的钨酸铵组合物无效
申请号: | 201010275116.8 | 申请日: | 2010-09-03 |
公开(公告)号: | CN102381728A | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
发明(设计)人: | 胡华志 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | C01G41/00 | 分类号: | C01G41/00 |
代理公司: | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人: | 董巍;谢栒 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种碱性的钨酸铵组合物,其特征在于,所述组合物包含钨酸铵和水,所述组合物的pH值不小于8。本发明还提供了一种提高钨酸铵标准储备溶液的稳定性的方法,所述方法包括:向所述钨酸铵标准储备溶液中加入氨水或通入氨气以形成pH值不小于8的混合溶液。根据本发明,通过向钨酸铵标准储备溶液加入氨水来提高该钨酸铵标准储备溶液的稳定性,使最终所配制的钨酸铵组合物(包含钨酸铵和水)呈碱性,具有良好的稳定性,不会出现沉淀物。其方法简单,容易实施,未延长生产周期。且由于氨水较为便宜,因此也未过多地增加生产成本。 | ||
搜索关键词: | 提高 钨酸铵 储备 溶液 稳定性 方法 碱性 组合 | ||
【主权项】:
一种碱性的钨酸铵组合物,其特征在于,所述组合物包含钨酸铵和水,所述组合物的pH值不小于8。
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