[发明专利]层叠型气体传感器元件及其制造方法、以及气体传感器有效
| 申请号： | 201010275848.7 | 申请日： | 2010-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN102012393A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 村冈达彦;水谷正树 | 申请（专利权）人： | 日本特殊陶业株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够进一步抑制气体传感器元件由于附着水而产生裂纹的层叠型气体传感器元件及其制造方法、以及气体传感器。层叠型气体传感器元件具有层叠检测元件和加热器元件的结构，该检测元件在固体电解质体上具备一对电极，该加热器元件的内部具有电阻发热体。在层叠型气体传感器元件中的至少暴露于测量对象气体中的前端部形成有多孔质保护层。在多孔质保护层的表面的50μm×50μm的区域内存在十个以上直径为1μm以上且5μm以下并且长径短径之比为0.5以上且2.0以下的小孔，并且在100μm×100μm的区域内存在一个以上且小于二十个的直径为8μm以上且20μm以下并且长径短径之比为0.5以上且2.0以下的大孔。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠 气体 传感器 元件 及其 制造 方法 以及 | ||
【主权项】：
一种层叠型气体传感器元件，检测测量对象气体中的特定气体，通过层叠检测元件和加热器元件而构成，其中，该检测元件在固体电解质体上具备一对电极，该加热器元件的内部具有电阻发热体，该层叠型气体传感器元件的特征在于，至少在上述层叠型气体传感器元件中的暴露于上述测量对象气体中的前端部形成有多孔质保护层，在上述多孔质保护层的表面的50μm×50μm的区域内存在十个以上直径为1μm以上且5μm以下并且长径短径之比为0.5以上且2.0以下的小孔，并且在上述多孔质保护层的表面的100μm×100μm的区域内存在一个以上且少于二十个的直径为8μm以上且20μm以下并且长径短径之比为0.5以上且2.0以下的大孔。
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