[发明专利]利用调制功率信号用于控制离子密度和能量的系统和方法无效
| 申请号： | 201010277159.X | 申请日： | 2006-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN101974732A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·W.·斯托厄尔 | 申请（专利权）人： | 应用膜公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34;H01J27/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开一种在溅射系统中用于控制离子密度和溅射速率的方法。在一个实施例中，加第一脉冲宽度功率信号到阴极，从而产生较高的浓度离子。然后，减小第一脉冲宽度功率信号的脉冲宽度，从而增大溅射速率和减小阴极周围的离子密度。其次，重复该过程以产生调制的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 调制 功率 信号 用于 控制 离子 密度 能量 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种在溅射系统中用于控制离子密度和溅射速率的方法，该方法包括：加高频功率信号到阴极，从而产生第一离子浓度；减小加到阴极上的功率信号的频率，从而增大溅射速率和减小阴极周围的第一离子浓度；加高频功率信号到阴极，从而产生第二离子浓度；和减小加到阴极上的功率信号的频率，从而增大溅射速率和减小阴极周围的第二离子浓度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用膜公司，未经应用膜公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010277159.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
