[发明专利]用于提高图像传感器的量子效率的嵌入反射屏

摘要

描述了反射屏的结构以及制造这种结构的方法，其能够反射没有被图像传感器器件中的光电二极管吸收的光并增加光电二极管的量子效率。这种结构可以应用或使用于任何图像传感器以提高图像质量。这种结构对于具有更小像素尺寸的图像传感器以及对于其吸收长度或深度可以不充分的长波长光或光线来说特别有用，尤其是对于背面照度BSI器件。反射屏可以使穿过图像传感器并反射回到光电二极管的光的吸收深度加倍或者比两倍还多。凹形反射屏具有引导反射光朝向图像传感器的附加优点。

主权项

一种使用背面照度的图像传感器器件，嵌入有反射屏以增加量子效率，其包括：光电二极管，设置在基板的前表面附近；以及反射屏，设置在所述光电二极管上方，其中所述反射屏被嵌入直接沉积在所述光电二极管上方的介电层内，所述光电二极管适于接收来自所述基板的后表面的光，所述后表面和所述反射屏在所述光电二极管的相对侧，并且所述反射屏适于反射来自所述基板的后表面并穿过所述光电二极管的光子，以使其重新进入所述光电二极管。