[发明专利]一种电弧钛泵及包括该电弧钛泵的真空抽气机组

摘要

本发明适用于真空获得技术领域，公开了一种电弧钛泵及包括该电弧钛泵的真空抽气机组。电弧钛泵包括泵壳、捕集板、阴极弧源构件及电源，捕集板设于泵壳的内侧壁，阴极弧源构件固设于泵壳内，泵壳和阴极弧源构件均呈圆柱状，阴极弧源构件与泵壳同轴设置。所述真空抽气机组包括真空室，真空室上连接有分子泵、前级泵、粗抽泵和上述的电弧钛泵。本发明提供的电弧钛泵可使阴极弧源构件所蒸散出的原子形成厚度均匀的活性薄膜，提高阴极弧源构件的利用率，从而提高抽速及抽气流量、降低能耗和运行成本。本发明提供的真空抽气机组，可取代目前的高能耗、高油蒸汽污染的大型扩散泵+罗茨泵抽气机组，获得清洁真空，节省抽气能耗、降低运行费用。

主权项

一种电弧钛泵，包括泵壳、捕集板、阴极弧源构件以及电源，所述捕集板设于所述泵壳的内侧壁，所述阴极弧源构件固设于所述泵壳内，所述阴极弧源构件包括位于外侧的阴极靶材以及位于所述阴极靶材内部的磁性构件，所述电源的正极连接于所述泵壳，所述电源的负极连接于所述阴极靶材，其特征在于：所述泵壳呈圆柱状，所述阴极弧源构件呈圆柱状，所述阴极弧源构件与所述泵壳同轴设置。