[发明专利]镀膜件及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201010282300.5 申请日: 2010-09-15
公开(公告)号: CN102400138A 公开(公告)日: 2012-04-04
发明(设计)人: 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;黄嘉 申请(专利权)人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号: C23C28/00 分类号: C23C28/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种镀膜件及其制作方法。一种镀膜件,包括一基材、一催化层、一结合层和一疏水层,该催化层为一Sn膜层,该结合层为一含Ti、Sn、SnO2和TiO2膜层,该疏水层一为Si-N层。本发明还提供了一种通过磁控溅射来制作上述镀膜件的方法。通过本发明制作的镀膜件具有更稳定的疏水性能。
搜索关键词: 镀膜 及其 制作方法
【主权项】:
一种镀膜件,包括一基材、一催化层、一结合层和一疏水层,所述催化层形成于基材上,所述结合层形成于催化层上,所述疏水层形成于结合层上,其特征在于:该催化层为一Sn膜层,该结合层为一含Ti、Sn、SnO2和TiO2的膜层,该疏水层为一Si‑N膜层。
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