[发明专利]离子枪以及用于该离子枪的格栅有效
| 申请号： | 201010282645.0 | 申请日： | 2010-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN102024657A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 盐野忠久;伊藤诚;长田佑介 | 申请（专利权）人： | 株式会社昭和真空 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/09;H01J37/04 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 关兆辉;穆德骏 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种离子枪以及用于该离子枪的格栅。上述离子枪具备格栅更换时输出特性的可重复性、伴随温度变化的形状稳定性以及保管性良好的半管型格栅。在离子枪中，具备在内部产生等离子体的主体、用于从主体内部引出等离子体的格栅以及在与主体之间夹持格栅的框状加速电极，主体的与格栅相对的端面具有山谷状的弯曲面，格栅由平板格栅构成，在安装时与主体的接触面成为与弯曲面一致的曲面。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 以及 用于 格栅 | ||
【主权项】：
一种离子枪，具备在内部产生等离子体的主体和用于从该主体的内部引出等离子体的格栅，其特征在于，还具备与上述主体之间夹持上述格栅的框状的加速电极，上述主体的与上述格栅相对的端面具有山谷状的弯曲面，上述格栅是平板格栅，在安装时与上述主体的接触面成为与上述弯曲面一致的曲面。
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