[发明专利]压电元件、压电执行器、液体喷射头及液体喷射装置有效
申请号: | 201010282918.1 | 申请日: | 2010-09-14 |
公开(公告)号: | CN102024902A | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 两角浩一;原寿树;加藤治郎;傅田聪 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/187 | 分类号: | H01L41/187;H01L41/083;B41J2/045 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 陈海红;刘瑞东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供压电体层的结晶质量良好且压电特性良好的压电元件、压电执行器、液体喷射头及液体喷射装置。本发明的压电元件100包括:第1导电层10;与第1导电层10相对向配置的第2导电层20;在第1导电层10和第2导电层20之间配置,由至少包含铅、锆、钛和氧的复合氧化物形成的压电体层30。压电体层30包括在压电体层30的第1导电层10侧的端配置的第1晶体层32和与第1晶体层32连续、与第1晶体层32相比靠第2导电层20侧配置的第2晶体层34。压电体层30的铅的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧低,压电体层30的氧的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧高。 | ||
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【主权项】:
一种压电元件,其特征在于,包括:第1导电层;第2导电层,其与上述第1导电层相对向配置;以及压电体层,其在上述第1导电层和上述第2导电层之间配置,由至少包含铅、锆、钛和氧的复合氧化物形成;上述压电体层包括在上述压电体层的上述第1导电层侧的端配置的第1晶体层和与上述第1晶体层连续、与上述第1晶体层相比靠上述第2导电层侧配置的第2晶体层,上述压电体层的铅的浓度在上述第1晶体层的上述第1导电层侧比在上述第2晶体层的上述第2导电层侧低,上述压电体层的氧的浓度在上述第1晶体层的上述第1导电层侧比在上述第2晶体层的上述第2导电层侧高。
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