[发明专利]阵列测试装置无效
| 申请号： | 201010283350.5 | 申请日： | 2010-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN102314004A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 徐容珪;潘俊浩 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 郭放;黄启行 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于测试基板是否有缺陷的阵列测试装置。阵列测试装置包括测试模块和间隙测量单元。测试模块包括具有面向基板的第一表面的调制器。间隙测量单元包括基面和距离测量装置。基面位于测试模块可以移动到的位置处使得第一表面面向基面。距离测量器件测量第一表面与基面之间的间隙。因此，本发明能够提供配备测试模块的阵列测试装置，简化了所述阵列测试装置的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种用于测试基板是否有缺陷的阵列测试装置，包括：测试模块，所述测试模块包括调制器，所述调制器具有面向所述基板的第一表面；以及间隙测量单元，所述间隙测量单元包括：基面，所述基面位于所述测试模块可以移动到的位置处使得所述第一表面面向所述基面；距离测量装置，所述距离测量装置用于测量所述第一表面与所述基面之间的间隙。
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