[发明专利]电极形成方法及电极形成装置有效
| 申请号： | 201010283435.3 | 申请日： | 2010-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102034893A | 公开（公告）日： | 2011-04-27 |
| 发明（设计）人： | 真田雅和;岩岛正信;古市考次 | 申请（专利权）人： | 大日本网屏制造株式会社 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 浦柏明;徐恕 |
| 地址： | 日本国京*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种在基板上形成电极的方法及装置，能够以低成本且优异的生产率形成宽度不同的电极。设置两组喷出含光固化性树脂的涂敷液的喷嘴部和对喷出的涂敷液照射光以使其固化的光照射部，各自的照射条件不同。设置在第一头部(5)的喷嘴部(52)和光照射部(53)之间的间隔小于设置在第二头部(7)的喷嘴部(72)和光照射部(73)之间的间隔。因此，在第一头部(5)自涂敷液涂敷到基板(W)起照射光为止的时间较短，形成宽度窄且具有一定高度的电极。另一方面，就第二头部(7)而言，自涂敷液涂敷到基板(W)起照射光为止的时间长，因此涂敷液进而扩散，形成宽度更宽的电极。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 形成 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种电极形成方法，其特征在于，包括：第一工序，使喷出涂敷液的喷嘴相对于基板而在第一方向上进行相对移动，从而向上述基板涂敷上述涂敷液，并通过光照射使涂敷到上述基板的上述涂敷液固化，从而形成第一电极，其中，上述涂敷液含电极材料和光固化性树脂，第二工序，使与上述喷嘴同一形状的喷嘴相对于上述基板而在与上述第一方向不同的第二方向上进行相对移动，从而向上述基板涂敷上述涂敷液，并通过光照射使涂敷到上述基板的上述涂敷液固化，从而形成第二电极；使上述第一工序中的上述光照射的照射条件和上述第二工序中的上述光照射的照射条件不同，从而使上述第一电极的宽度和上述第二电极的宽度不同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大日本网屏制造株式会社，未经大日本网屏制造株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010283435.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
