[发明专利]高频悬臂式探针卡有效
| 申请号： | 201010283776.0 | 申请日： | 2010-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN102401845A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 顾伟正;何志浩;赖俊良;谢昭平;张启钊 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高频悬臂式探针卡，包括一电路板、一绝缘针座、多个信号针与至少一接地针，其中，信号针与接地针固接于绝缘针座且各别与电路板的信号电路及接地电路电性连接，又信号针具有一探针本体及一导电膜，导电膜是以电性绝缘方式沿着探针本体的轴向被覆其上而设置，据以降低电容耦合面积，及减少探针本体与导电膜之间的绝缘材料厚度，使得信号针的径向截面积获得减缩，以便有助于信号针更为紧密地排列。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 悬臂 探针 | ||
【主权项】：
一种用于探针卡的信号针，其特征在于包含：一探针本体，具有一悬臂及于该悬臂一端形成一针尖；一绝缘层，以绝缘材料附着于该探针本体的悬臂表面而形成，该绝缘层具有一外表面；一导电膜，附着于该绝缘层的外表面，且未完全包覆该绝缘层；其中：探针本体、绝缘层与导电膜于同一处的径向剖面的截面积大小依序为探针本体大于绝缘层，绝缘层大于导电膜。
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