[发明专利]一种单晶硅太阳能电池的制绒液及其制备方法和应用无效
申请号: | 201010283966.2 | 申请日: | 2010-09-16 |
公开(公告)号: | CN102400225A | 公开(公告)日: | 2012-04-04 |
发明(设计)人: | 裴骏;刘绍军;林育琼;王坤霞 | 申请(专利权)人: | 上海神舟新能源发展有限公司 |
主分类号: | C30B33/10 | 分类号: | C30B33/10;H01L31/18 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 林君如 |
地址: | 201112 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种单晶硅太阳能电池的制绒液及其制备方法和应用,原料包括以下组分及重量百分比含量:四甲基氢氧化铵1~3、异丙醇7~9、去离子水88~92,将去离子水加入到制绒槽中,再加入四甲基氢氧化铵和异丙醇,控制温度为75~85℃,充分搅拌均匀即得到产品,利用该产品处理硅片。与现有技术相比,本发明具有良好的各向异性腐蚀特性,腐蚀速率高,腐蚀表面均匀性好,同时,腐蚀液还具有不含碱金属离子,无毒,易操控的优点,并且能与微电子技术兼容。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 太阳能电池 制绒液 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
一种单晶硅太阳能电池的制绒液,其特征在于,该制绒液的原料包括以下组分及重量百分比含量:四甲基氢氧化铵 1~3;异丙醇 7~9;去离子水 88~92。
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