[发明专利]一类以二苯乙烯为主体的硫鎓盐类光生酸剂及其制备方法无效
申请号: | 201010284441.0 | 申请日: | 2010-09-17 |
公开(公告)号: | CN101943862A | 公开(公告)日: | 2011-01-12 |
发明(设计)人: | 夏荣捷;金明;万德成;浦鸿汀 | 申请(专利权)人: | 同济大学 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/039;C07C381/12 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 张磊 |
地址: | 200092 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一类以二苯乙烯为主体的硫鎓盐类光生酸剂及其制备方法,以二苯乙烯生色团为主体的、具有双光子吸收能力的硫鎓盐类光生酸剂的设计与制备方法,特别涉及以二苯乙烯为共轭链桥,通过在苯环对位上加入各种电子给体,结合具有不同取代基的硫鎓盐作为电子受体合成的新型光生酸剂及其制备方法。这类光生酸剂在一般溶剂如二氯甲烷、三氯甲烷、丙酮、四氢呋喃中都有良好的溶解性,并且合成步骤简单,易于提纯,产率高等优点。由于其具有推拉型的分子结构,该类分子体现出了二苯乙烯类化合物都具有的双光子吸收性质。在单光子光刻以及双光子光刻领域都有巨大的应用价值。 | ||
搜索关键词: | 一类 苯乙烯 主体 盐类 光生酸剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一类以二苯乙烯生色团为主体的硫鎓盐类光生酸剂,其特征是所述硫鎓盐类光生酸剂的结构式为:
其中:R1为甲氧基、乙氧基、丁氧基、苄氧基、己氧基、辛氧基、羟基或乙酰氧基中任一种;R2为甲基、苄基或4-氰基苄基中任一种;R3为三氟甲烷磺酸根、六氟磷酸根或四氟硼酸根中任一种。
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