[发明专利]镱掺杂钇铝石榴石陶瓷平面及条形波导激光器件的制备方法有效
| 申请号： | 201010284513.1 | 申请日： | 2010-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN101969171A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 陈峰;谭杨;任盈盈;管静;董宁宁 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01S3/06 | 分类号： | H01S3/06 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 王绪银 |
| 地址： | 250100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 镱掺杂钇铝石榴石陶瓷(Yb:YAG陶瓷)平面及条形波导激光器件的制备方法，属于光电子器件制备技术领域。主要包括在镱掺杂钇铝石榴石陶瓷中形成平面和条形波导并实现波导激光输出。采用能量为7.0或10.0兆电子伏，剂量为1×1014～6×1014离子每平方厘米范围的氮离子注入，在镱掺杂钇铝石榴石陶瓷表面形成平面波导。或者先用光刻技术，在样品表面制作注入掩膜，然后用能量为7.0或10.0兆电子伏，剂量为1×1014～6×1014离子每平方厘米范围的氮离子注入，形成条形波导。将垂直于波导的两个面抛光，对抛光面进行激光谐振腔镀膜后，使用泵浦光对镱掺杂钇铝石榴石陶瓷波导进行泵浦，输出波长在1030±1纳米的红外激光。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 石榴石 陶瓷 平面 条形 波导 激光 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种镱掺杂钇铝石榴石陶瓷平面及条形波导激光器件的制备方法，其特征在于，制备方法如下：1)对镱掺杂钇铝石榴石陶瓷样品的待注入面进行抛光，并清洗抛光后的样品表面；2)对样品的待注入面进行氮离子注入，形成平面波导；能量范围为7‑10兆电子伏特，剂量范围为5×1014‑2×1015离子每平方厘米；3)对垂直于平面波导的两个端面抛光；4)对平面波导进行退火处理；5)在平面波导的两个抛光端面上镀激光谐振腔膜，形成平面波导激光器件；利用光刻在步骤1)得到的样品的待注入面上制作光刻胶掩膜，然后重复步骤2)至5)，得到条形波导激光器件；6)将泵浦光耦合到平面波导或条形波导激光器件中去，可输出波长在1030±1纳米的红外激光。
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