[发明专利]硅芯棒及用于多晶硅生长的硅芯结构无效
| 申请号： | 201010285968.5 | 申请日： | 2010-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101979721A | 公开（公告）日： | 2011-02-23 |
| 发明（设计）人： | 张江城;靳忠磊;邹志勇;刘添华 | 申请（专利权）人： | 山东伟基炭科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新技术开*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅芯棒，属于西门子法生产多晶硅技术领域。其为长条状，其横截面为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状。本发明还公开了一种用于多晶硅生长的硅芯结构，其包括两根竖硅芯棒(1)，横向搭接在两根竖硅芯棒(1)顶端的横硅芯棒(2)，所述横硅芯棒(2)和竖硅芯棒(1)的横截面均为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状，所述两根竖硅芯棒(1)的顶端具有与所述横硅芯棒(2)外表面形状相适配的形状。本发明通过对硅芯棒的形状进行特殊设计，使得硅芯棒的表面积增大，多晶硅在反应初期的沉积面积增大，有利于提高多晶硅的初期生长速率和转换率，并降低能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 硅芯棒 用于 多晶 生长 结构 | ||
【主权项】：
一种硅芯棒，为长条状，其特征是：其横截面为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状。
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