[发明专利]太阳电池的制造方法

摘要

本发明提供可削减划线处理的可靠性高的太阳电池的制造方法。上述太阳电池具备基板、第1电极层、半导体层和第2电极层，上述太阳电池的制造方法包括：第1电极层形成工序，在上述基板上形成上述第1电极层；和第1电极层分割工序，去除上述第1电极层的一部分，将上述第1电极层分割，在上述第1电极层形成工序前具有第1牺牲层形成工序，上述第1牺牲层形成工序中在与要去除上述第1电极层的一部分的部分对应的上述基板的表面部分形成第1牺牲层，上述第1电极层形成工序中，在上述基板上及上述第1牺牲层上形成上述第1电极层，上述第1电极层分割工序中，去除上述第1牺牲层以及在上述第1牺牲层上形成的上述第1电极层。

主权项

一种太阳电池的制造方法，上述太阳电池具备基板、第1电极层、半导体层和第2电极层，该制造方法的特征在于，包括：在上述基板上形成上述第1电极层的第1电极层形成工序；和去除上述第1电极层的一部分，将上述第1电极层分割的第1电极层分割工序，在上述第1电极层形成工序之前具有第1牺牲层形成工序，上述第1牺牲层形成工序中，在与要去除上述第1电极层的一部分的部分对应的上述基板的表面部分形成第1牺牲层，在上述第1电极层形成工序中，在上述基板上及上述第1牺牲层上形成上述第1电极层，在上述第1电极层分割工序中，去除上述第1牺牲层以及形成于上述第1牺牲层上的上述第1电极层。