[发明专利]一种晶粒分拣吸笔无效
申请号: | 201010287540.4 | 申请日: | 2010-09-19 |
公开(公告)号: | CN102024679A | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 葛宜威;裘立强 | 申请(专利权)人: | 扬州杰利半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;B25B11/00 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 奚衡宝 |
地址: | 225008 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种晶粒分拣吸笔。涉及对分拣吸笔的改进。能控制工作气流,并能符合人的操作习惯,进而使能耗降低。包括空心的笔杆、连接于笔杆尾端的气管和设置在笔杆头端的吸嘴,在笔杆杆身距离吸嘴2-4cm处设有揿按式气阀,吸嘴端面与水平面呈45-70°夹角。为相应节能减排的倡议,本发明在吸笔上设置了“开关”,用以控制工作气流的通断,在正常状态下,使吸笔处于常闭状态,此时,可降低真空机的能耗。此外,为符合操作人员持笔时笔杆与水平面呈一定角度的普遍情况,将吸嘴端面设置成斜面,从而使吸嘴能更高效率地与晶片吸合,克服了以往吸合前有较长时间“漏气”,从而提高能耗的情况。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶粒 分拣 | ||
【主权项】:
一种晶粒分拣吸笔,包括空心的笔杆、连接于笔杆尾端的气管和设置在笔杆头端的吸嘴,其特征在于,在笔杆杆身距离吸嘴2‑4cm处设有揿按式气阀,所述吸嘴端面与水平面呈45‑70°夹角。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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