[发明专利]涂层、具有该涂层的被覆件及该被覆件的制备方法无效

专利信息
申请号: 201010289292.7 申请日: 2010-09-23
公开(公告)号: CN102409302A 公开(公告)日: 2012-04-11
发明(设计)人: 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;马闯 申请(专利权)人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/06;B32B15/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种涂层,该涂层包括ZrYN沉积层,该沉积层以磁控溅射镀膜法形成。该涂层具有较高的硬度、良好的韧性及耐磨性。本发明还提供种具有上述涂层的被覆件。该被覆件包括基体、依次形成于该基体表面的ZrY结合层及所述涂层。另外,本发明还提供了上述被覆件的制备方法。
搜索关键词: 涂层 具有 被覆 制备 方法
【主权项】:
一种涂层,包括沉积层,其特征在于:该沉积层为ZrYN层,该沉积层以磁控溅射镀膜法形成。
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