[发明专利]面向半导体制造设备功能仿真的参数变化规律模拟系统

摘要

本发明提出一种面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规律模拟系统，包括：系统界面接口，PID变化规律模块，所述PID变化规律模块包括保存PID配置参数的结构体，用户自定义变化规律模块，所述用户自定义变化规律模块包括保存用户自定义变化规律的配置参数的结构体，和变化规律线程管理模块，所述变化规律线程管理模块针对一个参数变化规律开启一个线程，并在变化条件满足后自动结束所述线程，以及根据哈希表对所述线程进行管理以开启或结束变化规律线程。本发明具有配置简单、适应性强、贴近实际的特点，而且克服了同一个设备属性参数在不同的变化规律之间进行切换的问题。

主权项

一种面向半导体制造装备功能仿真的运行参数变化规律模拟系统，其特征在于，包括：系统界面接口，所述系统界面接口向其他仿真系统提供统一界面以使其他仿真系统对所述运行参数变化规律模拟系统进行调用；PID变化规律模块，所述PID变化规律模块包括保存PID配置参数的结构体，其中的PID类提供PID调用接口，其中，其他仿真系统通过所述传递合适的参数调用该函数以求取设备属性参数下一时刻的数值；用户自定义变化规律模块，所述用户自定义变化规律模块包括保存用户自定义变化规律的配置参数的结构体，其中，Custom类对外提供调用接口，用户传递合适的参数给所述调研接口以获得设备属性参数下一时刻的数值；和变化规律线程管理模块，所述变化规律线程管理模块针对一个参数变化规律开启一个线程，并在变化条件满足后自动结束所述线程，以及根据哈希表对所述线程进行管理以开启或结束变化规律线程。