[发明专利]探针卡的夹紧机构及检查装置

摘要

本发明提供一种能够可靠地防止探针卡掉落的探针卡的夹紧机构以及检查装置。本发明的夹紧机构(10)包括固定在插入环(21)下表面的气缸环(11)、以与气缸环嵌合着的状态升降的活塞环(12)和与活塞环连结且支承探针卡(30)的外环(13)，还包括：深槽(21A)，其在插入环(21)下表面的外周缘部以遍及全周的方式形成，且用于供排压缩空气；O形密封圈(14)，其在深槽内将其内部的压缩空气保持为预定压力；环状突起部，其在活塞环上表面以遍及全周的方式形成且通过活塞环使密封部件在深槽内升降；以及多个螺旋弹簧(15)，其在气缸环的凸缘部(11B)和活塞环的环部(12B)之间，沿周向隔开预定间隔以弹性方式进行安装。

主权项

一种探针卡的夹紧机构，其固定在检查装置的顶板所固定的插入环上，且能装拆地固定探针卡，其特征在于，包括：固定在所述插入环下表面的气缸环、以与所述气缸环从其外侧嵌合的状态进行升降的活塞环和与所述活塞环连结且支承所述探针卡的外环，还包括：深槽，其在所述插入环下表面的外周缘部以遍及全周的方式形成，用于供排气体；环状的密封部件，其被安装成在所述深槽内将其内部的气体保持为预定压力；环状的突起，其在所述活塞环上表面以遍及全周的方式形成，且通过所述活塞环的升降而使所述密封部件在所述深槽内升降；以及多个弹簧，在所述气缸环的凸缘部和所述活塞环的上表面之间，沿周向隔开预定间隔以弹性方式进行安装。