[发明专利]一种四氯化硅的回收利用方法及其装置

摘要

本发明涉及一种四氯化硅的回收利用方法及其装置，其特点是将预热处理后的四氯化硅和水蒸汽按摩尔比为2.0～5.0∶1.0连续稳定地送入反应器中进行反应，生成氯化氢气体和二氧化硅粉体。氯化氢气体经干燥后回收利用，二氧化硅粉体送后续工序处理后可作为产品出售。本发明回收利用四氯化硅的装置为气固流化床反应器，包括流化床筒体、水蒸汽进气口、水蒸汽气体分布器、四氯化硅气体分布器、管式换热管、旋风分离器和二氧化硅粉体出料口等。本发明具有工艺流程短，能耗低、设备投资少、操作容易控制等优点。

主权项

一种四氯化硅回收利用的装置，其特征是：所述四氯化硅回收利用的装置为气固流化床反应器，所述气固流化床反应器包括：流化床筒体(1)；一个设置在流化床筒体(1)底部的水蒸汽进气口(2)；一个设置在所述水蒸汽进气口(2)上部的水蒸汽气体分布器(3)；一个设置在所述水蒸汽气体分布器(3)上方100mm‑500mm的四氯化硅气体分布器(4)，所述四氯化硅气体分布器(4)的进气管与流化床筒体(1)的侧壁相连；一个设置在流化床筒体(1)下侧的四氯化硅气体进入口(5)，所述四氯化硅气体进入口(5)与四氯化硅气体分布器(4)相连；一个或一个以上设置在所述四氯化硅气体分布器(4)上方50mm‑300mm的管式换热管(6)，所述管式换热管(6)的进出口焊接在流化床筒体(1)的侧壁上；设置在流化床筒体(1)侧面上的换热管进水口(7)和换热管水蒸气出口(8)，所述的换热管进水口(7)和换热管水蒸气出口(8)与管式换热管(6)相连；一个设置在流化床筒体(1)上部的流化介质进料口(9)，所述流化介质进料口(9)与流化床筒体(1)侧壁相连接；一个设置在流化床筒体(1)的内上部的旋风分离器(10)，所述旋风分离器(10)固定在流化床筒体(1)上部的顶盖上；一个设置在流化床筒体(1)上部的气体出口(11)，所述气体出口(11)与旋风分离器(10)相连；一个设置在流化床筒体(1)下部的二氧化硅粉体出料口(12)，所述二氧 化硅粉体出料口(12)与流化床筒体(1)的侧壁连接。