[发明专利]测量微纳米级薄膜线延伸率和薄膜面延展率的方法无效
| 申请号： | 201010292164.8 | 申请日： | 2010-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN101979995A | 公开（公告）日： | 2011-02-23 |
| 发明（设计）人： | 顿爱欢;魏劲松;干福熹 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N3/28 | 分类号： | G01N3/28;G01N1/32 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种测量微纳米级薄膜线延伸率和薄膜面延展率的方法，其特征是在待测薄膜下设置一层氧化物膜层，该氧化物膜层在脉冲激光的作用发生分解反应生成O2，这些O2的压力使表面的待测薄膜发生体积膨胀，形成类似于球冠状凸起，通过测量该球冠凸起的高度和直径，计算出该球冠的弧长和表面积，进而得出该待测薄膜的线延伸率和面延展率，调节激光参数，获得最大球冠状凸起，测量最大球冠状凸起的高度和直径，计算该待测薄膜材料的最大线延伸率和延展率。本发明方法操作简单，不用专门的系统提供压力，可以测量多种材料的线延伸率和面延展率，测量薄膜的厚度可以达到纳米级。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 纳米 薄膜 延伸 延展 方法 | ||
【主权项】：
一种测量微纳米级薄膜线延伸率和薄膜面延展率的方法，其特征是在待测薄膜下设置一层氧化物膜层，该氧化物膜层在脉冲激光的作用发生分解反应生成O2，这些O2的压力使表面的待测薄膜发生体积膨胀，形成类似于球冠状凸起，通过测量该球冠凸起的高度和直径，计算出该球冠的弧长和表面积，进而得出该待测薄膜的线延伸率和面延展率，调节激光参数，获得最大球冠状凸起，测量最大球冠状凸起的高度和直径，计算该待测薄膜材料的最大线延伸率和延展率。
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