[发明专利]一种对准信号模拟发生装置

摘要

一种对准信号模拟发生装置，该装置中具有连续衰减轮，包括内侧轮盘、外侧轮盘和电机，光照到内侧轮盘或外侧轮盘的不同位置，即可实现对输入光强相应的衰减率，内侧轮盘和外侧轮盘径向上衰减率分别相同，圆周方向上衰减率连续变化，当光源垂直入射到内侧轮盘或外侧轮盘，并且光源输入位置固定的情况下，通过电机匀速驱动内侧轮盘和外侧轮盘转动，实现对输入光强的调制，调制频率与电机匀速旋转的转速相对应。

主权项

一种对准信号模拟发生装置，与对准信号处理单元连接，所述对准信号模拟发生装置包括：光源模块，发射出对准光束；其特征在于，所述对准信号模拟发生装置还包括：幅度调制装置、连续衰减轮，所述光源模块发射出的对准光束，经过所述幅度调制装置调制后，入射到所述连续衰减轮的衰减轮盘上，通过控制所述衰减轮盘转动，模拟出对准光束被硅片对准标记衍射后，所述对准信号处理单元接收的光强信号。